氧气表
半导体/液晶/电子元器件相关应用
半导体，电子元件氧气分析仪
氧气表MS-500
· 最多可以同时测量8个点。
· 传感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法兰）。
MS-500设备规格
氧气计LC-450A，LC-450D
· 可以显示很宽的浓度范围，从测量到的浓度范围内的ppm水平到100％。
| 测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
| 形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
| 显示方式 | 4位数字显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10﹣²º〜10﹣ºATM自动范围 | ||
| 重复性 | 在±1％FS 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围 | ||
| 取样方式 | 内置泵的连续吸入型 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压30 KPa以下 | |
| 流量 | 1,000-2,000毫升/分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含 有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 | ||
| 比较气 | 大气层 | ||
| 记录仪输出 | 氧气浓度输出 | 在4-20mA和0-20mA之间切换（可选0-10V）绝缘，负载电阻550Ω或更小 记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度 |
|
| 输出范围 | 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围 | ||
| 变速箱输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 失败（设备错误） | 1分 | 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作） |
| ALM（浓度警报） | 2点（H / L | 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 发生警报时触点闭合（可以更改接点操作） |
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| RDY（预热信号） | 1分 | 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下
|
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| MRK（范围标记） 输出 | 2分 | 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下 | |
| 热身时间 | 5分钟以内 | ||
| 尺寸 | 身体 | 210（W）x 134（H）x 300（D）mm（不包括突起） | |
| 大众 | 约6kg | ||
| 气体 连接口 |
进口 | Rc1 / 4 | |
| 旁路输出 | Rc1 / 4 | ||
| 出口 | Rc1 / 4 | ||
| 使用电源 | 100-240VAC，50VA（稳定：35VA）50Hz / 60Hz | ||
· CE标志自我声明产品EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003
· 符合RoHS的产品
· 紧凑且易于安装深度比我们的传统型号还要短，并且不会占用太多空间。
· 交流宽电源AC100-240VAC（LC-450A）* LC-450D由24V DC驱动
· 改进的传感器耐用性氧气传感器经过特殊处理，以提高其耐用性。
MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860
· 可以显示从ppm级到100％的多种浓度。
· 非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。
· 特殊涂层应用于高度耐用的传感器，以进一步提高耐用性。
| 测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
| 形状 | 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式） | ||
| 显示方式 | 4位数字显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20〜10 -0大气压 自动范围 |
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| 重复性 | 在±0.5％FS 0-1％范围内或更高 ±1％FS或以下或± 0.1ppm范围内0-1％小于0-1ppm，大于atm范围不在保证的浓度范围内 |
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| 测量点数 | 1-8 | ||
| 样气条件 | 压力 | 10﹣³ 至200 KPa（绝对压力） | |
| 流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然扩散状态的测量） | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-100℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机 硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 | ||
| 比较气 | 大气层 | ||
| 记录仪输出 | 仅变速箱输出 | ||
| 变速箱输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 没有 | ||
| 热身时间 | 6分钟以内 | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） | |
| MS-510（转换器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 总长100 mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 总长100mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 总长100 mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49） | ||
| 大众 | MS-500（控制器） | 约0.6Kg | |
| MS-510（转换器） | 约0.5kg | ||
| 传感器单元 | SD16NW | 约0.2Kg | |
| SD25NW | 约0.2Kg | ||
| SD40NW | 约0.35Kg | ||
| 外部连接 | 真空法兰之一（NW16、25、40） | ||
| 使用电源 | 24VDC±10％ | ||
LC-450A设备规格
LC-450D设备规格
| 测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
| 形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
| 显示方式 | 4位数字显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20〜10 -0ATM自动范围 | ||
| 重复性 | 在±1％FS 0-1ppm之内，大气压范围超出了保证的浓度范围 | ||
| 取样方式 | 内置泵的连续吸入型 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压30 KPa以下 | |
| 流量 | 〜1,500L /分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机 硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 | ||
| 比较气 | 大气层 | ||
| 记录仪输出 | 氧气浓度输出 | 0-10VDC，绝缘，负载电阻600kΩ或更高 （选件：4-20mADC，绝缘，负载电阻550Ω或更低） 记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度 |
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| 输出范围 | 0-100％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自动/固定范围 | ||
| 变速箱输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 | 失败（设备错误） | 1分 | 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 设备异常导致接点闭合（可以更改接点操作） |
| ALM（浓度警报） | 2点（L / LL） | 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 发生警报时触点闭合（可以更改接点操作） |
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| RDY（预热信号） | 1分 | 非电压接点，接点容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下 在预热操作期间触点闭合（可以更改触点操作）
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| MRK（范围标记）输出 | 2分 | 非电压接点，接点容量30VDC / AC以下，0.5A以下 | |
| 热身时间 | 5分钟以内 | ||
| 尺寸 | 身体 | 240（W）x 134（H）x 210（D）mm（不包括突起） | |
| 大众 | 约5kg | ||
| 气体 连接口 |
进口 | Rc1 / 8 | |
| 旁路输出 | Rc1 / 8 | ||
| 出口 | Rc1 / 8 | ||
| 使用电源 | 24VDC±10％，1.25A（30VA，稳态） | ||
氧气计LC-860
· 低浓度测量可以测量ppb到100％
· 操作简便按功能可轻松操作
· 吹扫功能比较气体更稳定，测量更精确（仅适用于具有吹扫功能的规格）
· 高可靠性传感器传感器内部还可以进行防劣化处理（可选）
LC-860设备规格
| 测量原理 | 氧化锆轻型电池 | ||
| 形状 | 桌面型/面板安装型 | ||
| 显示方式 | 6位数字显示（密度显示） | ||
| 测量范围 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积％氧气2 10 -20〜10 -0大气压 自动/固定范围 |
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| 重复性 | 氧气浓度在±1％FS之内且小于1ppm和0-1ppm，大气压范围超出保证的浓度范围 | ||
| 取样方式 | 内置泵的连续吸入型 | ||
| 样气条件 | 压力 | 加压30 KPa以下 | |
| 流量 | 〜1,500L /分钟 | ||
| 湿度 | 露点低于环境温度 | ||
| 温度 | 0-50℃ | ||
| 其他 | 不包含腐蚀性气体（基于氟的气体，基于氯的气体，基于硫化物的气体等），包含有机 硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 | ||
| 比较气 | 大气层 | ||
| 记录仪输出 | 氧气浓度输出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA ：绝缘，负载电阻为600Ω或更低 0-10V：绝缘，负载电阻为500Ω或更高 记录仪输出范围为满量程，线性输出至氧气浓度 |
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| 输出范围 | 0-100％，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm，0-1ppm， 10 -20 -10 -0 或自动/固定范围的任意4个范围 | ||
| 变速箱输出 | RS-232C | ||
| 报警输出 |
失败（设备错误） |
1分 | 非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小 由于设备异常，触点闭合（可以更改触点操作） |
|
ALM（浓度警报） |
2分 | 非电压接点，接点容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小 发生警报时触点闭合（可以更改触点操作） |
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|
RDY（预热 信号） |
1分 | 非电压接点，接点容量24VDC / AC或以下，0.5A或以下 在预热操作过程中触点闭合（可以更改触点操作）
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MRK（范围 标记）输出 |
3分 | 非电压接点，接点容量24VDC / AC以下，0.1A以下 | |
| 热身时间 | 20分钟以内 | ||
| 尺寸 | 身体 | 288（W）x 144（H）x 400（D）mm（不包括突起） | |
| 大众 | 约10kg | ||
| 气体 连接口 |
进口 | Rc1 / 8 | |
| 旁路输出 | Rc1 / 8 | ||
| 出口 | Rc1 / 4 | ||
| 使用电源 | 100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的 | ||
